中国自制光刻机？ASML工程师：天方夜谭(图)
荷兰ASML公司是目前全球唯一制造EUV光刻机的厂商。（图片来源：EMMANUEL DUNAND/AFP via Getty Images）
【看中国2020年9月29日讯】（看中国记者端木珊综合报导）在美国的制裁之下，中国欲投放9.5万亿人民币发展半导体产业。但荷兰阿斯麦尔（ASML）工程师近日撰文指出，中国想造出高端光刻机，简直是天方夜谭。
近日，一位自称任职于ASML、正参与极紫外（EUV）光刻机制造的华裔工程师撰文，分析了中国独立制造EUV光刻机的可能性。
EUV光刻机是生产7纳米芯片的最关键的核心设备，目前全世界只有荷兰ASML公司可以制造。一台EUV光刻机的价格大约为1.2亿美元（约合8亿元人民币）。中芯国际2018年从ASML购买了一台尖端的EUV光刻机，但荷兰政府去年拒绝许可ASML向中国出口，发货许可证至今仍未颁发。今年早些时候，中国武汉弘芯半导体制造有限公司则因重大财务危机，将中国唯一一台能生产7纳米芯片的ASML光刻机抵押给银行。
ASML工程师：全球一半EUV光刻机在台积电手中
与之形成鲜明对比的是，当前全球一半投入使用的EUV光刻机都在台积电手中。
该文作者表示，如果将台积电比喻成美国海军拥有十艘十万吨级核动力航母，那么中国芯片制造商的水平则相当于辽宁舰还未拖进港时期的中国海军。作者认为，从目前的技术来看，中国芯片厂还很落后，“高性能的滤光片、对极端紫外线高反射率的镀膜、耐用的商业激光器……没有一个是中国自己能够造出来的！”没有这些基础器件，中国想造EUV光刻机就是天方夜谭。
除了这些基础器件外，制造EUV光刻机，还需要具备天时地利人和的条件。这些条件包括：中国要做好十几年甚至二十年一直亏钱的准备；外部技术封锁要有些松动，因为光刻机是全球产业链整合出来的产品；要有一流人才愿意给中国效力；需要大量从业的工程师来进行过渡；三星、Intel，台积电的某一家要出一个大问题，倒闭或者破产，从而让出市场份额，给中国公司发展机会；新技术恰好在国家大力投入的时候兴起，以实现弯道超车。
作者还特别提到，如果针对中国的技术封锁没有松动，中国投入再多的钱，制定再多的政策，也无法单打独斗、大跃进式地造出光刻机。即使中国能够模仿ASML，造出一模一样的EUV光刻机，也存在专利的问题。“光刻机你要是用同样的原理，光是赔专利侵权就要倾家荡产。”
此前，大陆搜狐网站曾发文吹嘘，“在中国国家政策的支持下，再加上中国科研工作者的坚持努力，不久的将来中国一定可以造出自己的先进光刻机，不亚于世界上一流的水准”。
网友看到这番言论后纷纷对其嘲讽：“天天喊厉害了我的国，其实我的国没那么厉害，在高精尖技术方面还很落后。”
今年7月份，中科院发了一则“国产5纳米光刻技术获突破”的新闻，随即又删除。