中國自製光刻機？ASML工程師：天方夜譚(圖)

荷蘭ASML公司是目前全球唯一製造EUV光刻機的廠商。（圖片來源：EMMANUEL DUNAND/AFP via Getty Images）

【看中國2020年9月29日訊】（看中國記者端木珊綜合報導）在美國的制裁之下，中國欲投放9.5萬億人民幣發展半導體產業。但荷蘭阿斯麥爾（ASML）工程師近日撰文指出，中國想造出高端光刻機，簡直是天方夜譚。

近日，一位自稱任職於ASML、正參與極紫外（EUV）光刻機製造的華裔工程師撰文，分析了中國獨立製造EUV光刻機的可能性。

EUV光刻機是生產7納米晶元的最關鍵的核心設備，目前全世界只有荷蘭ASML公司可以製造。一臺EUV光刻機的價格大約為1.2億美元（約合8億元人民幣）。中芯國際2018年從ASML購買了一臺尖端的EUV光刻機，但荷蘭政府去年拒絕許可ASML向中國出口，發貨許可證至今仍未頒發。今年早些時候，中國武漢弘芯半導體製造有限公司則因重大財務危機，將中國唯一一臺能生產7納米晶元的ASML光刻機抵押給銀行。

ASML工程師：全球一半EUV光刻機在台積電手中

與之形成鮮明對比的是，當前全球一半投入使用的EUV光刻機都在台積電手中。

該文作者表示，如果將台積電比喻成美國海軍擁有十艘十萬噸級核動力航母，那麼中國晶元製造商的水平則相當於遼寧艦還未拖進港時期的中國海軍。作者認為，從目前的技術來看，中國晶元廠還很落後，「高性能的濾光片、對極端紫外線高反射率的鍍膜、耐用的商業激光器……沒有一個是中國自己能夠造出來的！」沒有這些基礎器件，中國想造EUV光刻機就是天方夜譚。

除了這些基礎器件外，製造EUV光刻機，還需要具備天時地利人和的條件。這些條件包括：中國要做好十幾年甚至二十年一直虧錢的準備；外部技術封鎖要有些鬆動，因為光刻機是全球產業鏈整合出來的產品；要有一流人才願意給中國效力；需要大量從業的工程師來進行過渡；三星、Intel，台積電的某一家要出一個大問題，倒閉或者破產，從而讓出市場份額，給中國公司發展機會；新技術恰好在國家大力投入的時候興起，以實現彎道超車。

作者還特別提到，如果針對中國的技術封鎖沒有鬆動，中國投入再多的錢，制定再多的政策，也無法單打獨鬥、大躍進式地造出光刻機。即使中國能夠模仿ASML，造出一模一樣的EUV光刻機，也存在專利的問題。「光刻機你要是用同樣的原理，光是賠專利侵權就要傾家蕩產。」

此前，大陸搜狐網站曾發文吹噓，「在中國國家政策的支持下，再加上中國科研工作者的堅持努力，不久的將來中國一定可以造出自己的先進光刻機，不亞於世界上一流的水準」。

網友看到這番言論後紛紛對其嘲諷：「天天喊厲害了我的國，其實我的國沒那麼厲害，在高精尖技術方面還很落後。」

今年7月份，中科院發了一則「國產5納米光刻技術獲突破」的新聞，隨即又刪除。